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產品名稱：大深寬比微細結構元件

型號：

時間： 2018 - 11 - 05

SU-8光刻膠是非硅材料MEMS制造以及電鑄模所用的首選光刻膠。得益于SU-8光刻膠本身良好的力學性能，其甚至可直接被用作微機械器件。我公司開發的SU-8光刻膠結構深寬比可達20：1。隨著大規模集成電路技術和微機械技術的發展，越來越多的器件要求高深寬比的微細結構。我公司開發的深硅刻蝕技術，能夠實現深寬比優于10：1的微細結構。

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產品名稱：光柵

型號：

時間： 2018 - 11 - 05

光柵是可以使入射光的振幅或相位（或兩者同時）受到周期性空間調制的光學元件。只能使光受到振幅調制或相位調制的光柵，分別稱為振幅光柵和相位光柵。按工作方式分，光柵又可分為透射光柵（透射光受調制）和反射光柵（反射光受調制）。光柵每單位長度內的刻痕多少，主要決定于所分光的波長范圍，單位長度內的刻痕多，色散度越大。光柵的分辨本領決定于刻痕多少。我公司具備常見光柵的生產能力，并能提供最大面積為400mm×400mm，4μm單元陣列的超大口徑平面光柵。

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